Чистота – залог нанотехнологий

Пока проект находится в стадии разработки. Идут переговоры с МГУ и Курчатовским центром
Чистота - один из главных элементов успешного использования технологий XXI века
Пока проект находится в стадии разработки. Идут переговоры с МГУ и Курчатовским центром
Чистота - один из главных элементов успешного использования технологий XXI века

Чистота – один из главных элементов успешного использования технологий XXI века. Ни микроэлектроника, ни нанотехнологии невозможны без специальных помещений, так называемых "чистых комнат".

Это тот случай, когда микроэлектронное производство требует макропомещений, буквально нашпигованных уникальным оборудованием и аппаратурой. На выходе – фотошаблоны с минимальным размером топологии элементов 0,35 микрон – в несколько раз тоньше человеческого волоса. До недавнего времени их закупали за рубежом. Подробнее об этом рассказывает Владимир Бартенев – заместитель генерального директора ОАО "Мосэлектронпроект": "Сейчас мы можем обеспечить себя фотошаблонами уровня 0,35 микрон. Это на сегодняшний день закрывает практическое большинство задач – как гражданского, так и военного назначения".

Недавно в подмосковном городе электронщиков Зеленограде запущен Центр по производству фотошаблонов. Это целый комплекс инженерных систем: водяного, воздушного и температурного контроля. Специальное здание проектировала и специальная организация "Мосэлектронпроект", входящая в холдинг "Российская электроника" госкорпорации "Ростехнологии".

Так называемые "чистые комнаты" – основа микроэлектронного производства. Сюда невозможно попасть не то что постороннему – ни одна пылинка не проникнет. Абсолютная стерильность и строжайший контроль. "Основными загрязнениями при производстве является человек, 35 процентов загрязнения идет от человека, поэтому изделие надо защитить от человека", – продолжает Владимир Бартенев.

Здесь производят деионизированную воду. Ощущение – будто работает турбина самолета. Процесс непрерывный. Вода очищается так тщательно, что становится просто бесценной.

По трубам в "чистые комнаты" поступает воздух, который проходит четырехступенчатую очистку. Получается идеально чистая воздушная смесь, но с допуском – несколько субмикронных пылинок в литре воздуха. Для сравнения – в обычной жилой комнате их – миллионы. Однако дышать таким чистым воздухом трудно – организм не привычен к такой стерильности.

За час воздух полностью меняется 400 раз. Через отверстия в потолке он нагнетается в помещение и тут же уходит в фальш-пол. Так создается ламинарный поток, позволяющей комнате, а главное, работающему в ней человеку, сохранять в прямом смысле идеальную чистоту. "Когда открывается окно, то все остальные окна, двери, если они присутствуют в том или ином помещении, блокированы и не дают возможности доступа", – поясняет технический директор ОАО "Мосэлектронпроект" Николай Окунский.

После долгого застоя микроэлектроника в России набирает обороты. Уже сейчас наши ученые достигли уровня производства в 0,35 микрон. Впереди – высота в 0,18 и менее – именно такова мировая планка.

Собственная микроэлектроника – это не только вопрос престижа. Теперь не стоит бояться шпионских "жучков" и опасных закладок в чипах. "Одна из основных причин – это сохранение безопасности своей страны, – говорит Владимир Бартенев. – И самое главное, если речь идет о военных изделиях, мы не можем передавать, потому что в процессе производства фотошаблонов и микросхем могут появиться закладки, которые могут в любой момент отключить серьезное изделие оборонного значения".

В стратегии развития отечественной электронной промышленности до 2025 года определены огромные задачи. В 2015 году топологический размер элемента на наночипе достигнет 45 нанометров. Увеличатся и капиталовложения в реконструкцию, и техническое перевооружение российской микроэлектроники. Планируется восстановить более 90 производственных объектов, что позволит выпускать самые современные полупроводниковые изделия.