Москва26 июнВести.Минпромторг РФ направит около 1,4 млрд рублей на разработку отечественного оборудования для жидкостной химической обработки кремниевых пластин, сообщает газета "Ведомости" со ссылкой на размещенный на портале госзакупок тендер.

Создаваемая автоматизированная линия позволит выполнять травление, очистку и сушку пластин диаметром до 100, 150 и 200 мм в составе серийных техпроцессов. По замыслу ведомства, такая установка должна заменить американские и японские аналоги, которые сейчас используются на российском производстве, пишет издание.

Согласно описанию закупки, оборудование будет работать с пластинами диаметром до 200 мм, принимая за один цикл до 100 штук одновременно. Установка рассчитана как минимум на восемь различных химических реагентов, среди которых есть плавиковая, серная и соляная кислоты, аммиак и перекись водорода. Для разных операций нужны разные составы, поэтому машина должна автоматически переключаться между ними по заданной программе, не допуская смешивания несовместимых веществ. Критические узлы — ротор, систему подачи химии, контроллер и программное обеспечение — предписано выпускать в России, а импортные комплектующие допускаются лишь по согласованию с заказчиком, следует из документации.

Полностью готовой установку в Минпромторге рассчитывают увидеть до ноября 2029 года. Исполнителя по закупке определили 19 июня, однако его имя в системе госзакупок осталось скрыто.

Как пояснил эксперт НТИ по микроэлектронике Сергей Сазонов, именно на стадии химической обработки закладывается качество будущей микросхемы: от чистоты и равномерности этих операций зависит стабильность всего техпроцесса. По мнению источников газеты, разработкой новой установки могут заняться структуры группы компаний "Элемент" — НИИМЭ совместно с НИИТМ.

Нынешний тендер стал частью более широкой кампании по импортозамещению в отрасли. Только в июне Минпромторг разместил несколько закупок на опытно-конструкторские работы по микроэлектронике общим объемом около 7,6 млрд рублей. По данным министерства, объем производства оборудования для электронной промышленности в 2025 году достиг 5,32 млрд рублей против 2,93 млрд в 2023-м, в 2026 году он может вырасти почти на 5%, до 5,58 млрд рублей, считают собеседники "Ведомостей".

Ранее Минпромторг РФ призвали расширить действие льгот на установку и технологическое подключение электрозарядных станций, включив в список получателей индивидуальных предпринимателей.